题目：关于微悬臂梁传感器方面的研究
级别：硕论
篇幅：开题五千字符，正文三万字符
时间：（开题一周内，正文20天

注：
我做关于微悬臂梁微加速计的研究。针对一种典型MEMS器件（悬臂梁式微加速度计）建立其系统等效模型，主要从悬臂梁的振动特性和气动性能两部分来进行研究。对于微悬臂梁的振动特性，运用有限元分析软件ANSYS Workbench建立了微悬臂梁的有限元模型，进行了模态和谐响应仿真分析；在谐响应分析下，得到了悬臂梁不同频率的应力频率响应和位移频率响应曲线，确定此悬臂梁式微加速度计的频响范围。对于悬臂梁的气动性能，利用流体计算软件FLUENT研究了悬臂梁周围截面流场及其悬臂梁流场的变化，得到了悬臂梁周围截面流场的压力分布和流速分布图，以及在间隙不同情况下悬臂梁表面的压强分布和流速分布图，从而也得出了这种悬臂梁式微加速度计的量程。